财务业绩 - 2025年第三季度归母净利润5亿元，同比增加28%，环比增加29% [1] - 前三季度刻蚀设备实现收入约61亿元，同比增长38% [1] - 前三季度薄膜设备收入约4亿元，同比激增超1300% [1] 业务运营 - 刻蚀基本盘稳固，针对先进逻辑和存储器件制造的关键刻蚀工艺高端产品新增付运量显著提升 [1] - 薄膜设备迎来爆发期，LPCVD、ALD等新产品顺利放量 [1] - 硅和锗硅外延EPI设备已运付客户端进行量产验证 [1] 研发与战略 - 公司在研项目涵盖6类设备、超20款新品 [1] - 随着先进逻辑和存储关键工艺的高端产品付运提升，公司正加速向平台型设备公司迈进 [1]