公司上市进程 - 证监会于12月4日同意深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票的注册申请 批复自同意注册之日起12个月内有效 [1] - 公司科创板IPO于2025年6月13日获得受理 当年7月6日进入问询阶段 2025年11月14日上会获得通过并于当日提交注册 [1] 公司业务与定位 - 公司主要从事等离子体射频电源系统 等离子体激发装置 等离子体直流电源 各种配件的研发 生产 销售及技术服务 [1] - 公司引进真空获得和流体控制等相关核心零部件 围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案 [1] 募集资金用途 - 本次冲击上市 公司拟募集资金约14.69亿元 [1] - 扣除发行费用后 募集资金净额拟全部用于以下项目：沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目 半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目 研发与前沿技术创新中心项目 营销及技术支持中心项目 补充流动资金 [1]