市场表现 - 2025年12月22日早盘，半导体板块表现强势，中证半导体材料设备主题指数上涨2.68% [1] - 成分股中，珂玛科技20cm涨停，立昂微上涨6.41%，长川科技上涨5.51%，中科飞测、先导基电等个股跟涨 [1] - 跟踪该指数的半导体设备ETF基金(159327)上涨2.44% [1] 行业需求与价格趋势 - 自2025年下半年以来，AI需求爆发导致产能挤占，存储产品持续涨价 [1] - 从下游应用市场看，存储芯片或在2025年第四季度维持双位数涨幅 [1] - 展望2026年，GPU加速释放，AI端侧或也有改善，存储的产能紧缺可能持续 [1] 国产化替代机遇 - 需求、政策与外部环境共振，国产化替代迎来追赶窗口期 [1] - 2024年中国已成为全球最大光刻机采购市场，贡献ASML营收的41% [1] - 当前中国光刻机高端机型依赖进口，国产化进度势在必得 [1] - 政策端“02专项”体系化布局曝光光学、双工件台、浸液系统等核心环节，推动国产技术快速迭代 [1] - 国内部分公司已在90nm ArF机型与双工件台实现突破 [1] - 未来在政策、需求与验证三重驱动下，国产光刻机有望进入商业化加速阶段 [1] 指数与产品构成 - 截至2025年11月28日，中证半导体材料设备主题指数前十大权重股分别为中微公司、北方华创、拓荆科技、沪硅产业、长川科技、华海清科、南大光电、中科飞测、安集科技、芯源微 [2] - 前十大权重股合计占比64.75% [2] - 半导体设备ETF基金（159327）紧密跟踪该指数，具有高成长、高弹性的特征 [2] - 场外投资者可通过联接基金(A类：023828；C类：023829)把握投资机会 [2]