指数与ETF表现 - 截至2025年12月22日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨4.45% [1] - 科创半导体ETF(588170)当日上涨4.14%，最新价报1.51元 [1] - 拉长时间看，截至2025年12月19日，科创半导体ETF近2周累计上涨3.50% [1] 成分股表现 - 指数成分股艾森股份(688720)上涨19.00%，芯源微(688037)上涨10.08%，拓荆科技(688072)上涨9.97% [1] - 神工股份(688233)、京仪装备(688652)等个股跟涨 [1] - 前十大权重股中，拓荆科技权重为9.87%且当日涨9.97%，芯源微权重为6.52%且当日涨10.08% [3][4] 市场交易与流动性 - 科创半导体ETF盘中换手率达18.08%，成交额为6.85亿元，市场交投活跃 [1] - 截至12月19日，科创半导体ETF近1周日均成交额为5.43亿元 [1] 基金规模与资金流向 - 科创半导体ETF近1周规模增长1.09亿元，实现显著增长 [2] - 基金最新份额达25.37亿份，创近1月新高 [2] - 近4天获得连续资金净流入，最高单日净流入1.17亿元，合计净流入1.66亿元，日均净流入达4154.80万元 [2] 指数构成与权重 - 上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本 [2] - 截至2025年11月28日，指数前十大权重股合计占比74.68% [3] - 前十大权重股包括拓荆科技、中微公司、华海清科、沪硅产业、中科飞测、安集科技、芯源微、天岳先进、盛美上海、华峰测控 [3]