市场表现 - 半导体设备概念股显著走强，其中中微公司股价上涨超过13%，拓荆科技股价上涨超过5%，中科飞测股价上涨超过4% [1] - 受重仓股上涨影响，半导体设备相关交易所交易基金普遍上涨超过4% [1] - 具体ETF表现：半导体设备ETF（159516）现价1.617，上涨0.074，涨幅4.80%；半导体设备ETF基金（159327）现价1.923，上涨0.086，涨幅4.68%；半导体设备ETF易方达（159558）现价1.895，上涨0.084，涨幅4.64%；半导体材料ETF（562590）现价1.696，上涨0.074，涨幅4.56%；半导体设备ETF广发（560780）现价1.775，上涨0.077，涨幅4.53% [2] 行业驱动因素 - 在人工智能浪潮和国产化大背景下，国内先进产线未来扩产需求持续存在 [2] - 半导体设备是晶圆代工产能扩张的基石，也是实现产业链自主可控的关键环节 [2] - 国产半导体设备企业有望迎来发展机遇 [2]