抗反射涂层(ARC)定义与分类 - 抗反射涂层(ARC)是一种通过抑制界面光反射、提升光透射率的功能性薄膜材料,具备降低界面反射率、消除驻波效应、抗紫外线等功能 [1] - 主要应用于光刻工艺中,半导体制造领域为其主要需求端 [1] - 按基材可分为有机抗反射涂层和无机抗反射涂层 [1] - 按涂覆位置可分为顶部抗反射涂层(TARC)和底部抗反射涂层(BARC),其中BARC因控制反射界面大、能有效降低驻波效应等特点而应用范围较广 [1] - 按结构可分为多层抗反射涂层和单层抗反射涂层等 [1] 行业技术发展与本土化进展 - 中国企业及相关科研机构不断加大研发投入,已获得多项相关专利,例如《一种双色光刻底部抗反射涂层及其制备方法》、《高蚀刻率底部抗反射涂层的制备与应用》等 [1] - 未来随着研究深入,中国抗反射涂层技术将不断进步 [1] - 中国部分企业已具备抗反射涂层规模化生产实力,例如恒坤新材已具备BARC规模化生产实力,产品销量位居中国行业领先 [2] - 本土主要生产商包括恒坤新材、麦加芯彩等 [2] 市场需求与驱动因素 - 抗反射涂层主要应用于半导体制造领域 [2] - 伴随全球半导体产业向中国大陆转移,中国芯片行业发展速度加快,2024年中国芯片产量达到4514亿颗,同比增长22.2% [2] - 在芯片制造过程中,将抗反射涂层旋涂于光刻胶和硅衬底之间,能有效吸收光刻工艺中产生的反射光 [2] - 受益于中国半导体制造行业发展速度加快,抗反射涂层应用需求不断增长 [3] - 未来伴随下游行业景气度提升以及技术进步,中国抗反射涂层应用需求将进一步增长,市场空间将得到进一步扩展 [2][3] 全球竞争格局 - 全球抗反射涂层市场主要集中于欧美以及日韩等国 [3] - 全球主要生产企业包括美国杜邦公司(DuPont)、日本信越化学株式会社(Shin-Etsu)、日本合成橡胶公司(JSR)、韩国株式会社东进世美肯(DONGJIN SEMICHEM)、德国默克公司(Merck)等 [2]
光刻核心材料突围!抗反射涂层(ARC)打破欧美日韩垄断,国产龙头已实现规模化量产