行业核心趋势 - 国内半导体设备国产替代率从2025年的25%提升至2026年1月的35%，其中刻蚀机、薄膜沉积设备等核心设备替代率突破40% [1][6] - 国产半导体设备正迎来历史性发展机遇，2026年将开启确定性较强的扩产周期，国内存储大厂上市扩产及全球AI投资带动的产能建设将直接拉动核心设备需求 [1][2][7] - 半导体板块热度持续攀升，吸引资金借道ETF布局，尽管板块波动加剧，但产业国产替代进程与行业长期成长态势并未改变 [1][6] 相关投资工具 - 科创半导体设备ETF（588710）连续五个交易日（1月6日至1月12日）获资金净流入，期间产品规模增长45%，从8.87亿元增长至12.93亿元 [1][2][7] - 该ETF及其联接基金（A类024974、C类024975）的标的指数为上证科创板半导体材料设备主题指数，精准卡位半导体产业链上游环节，有望在国产替代浪潮中受益 [2][8] - 指数聚焦科创板的编制方案有望进一步放大硬科技成色，并使得科创半导体设备ETF（588710）适用单日20%的涨跌幅限制，弹性或更大 [2][8] 基金管理人 - 科创半导体设备ETF（588710）的管理人华泰柏瑞基金是境内首批ETF管理人之一 [3][9] - 华泰柏瑞基金打造的华泰柏瑞沪深300ETF（510300）是A股市场规模居首的ETF，于2026年1月9日起启用新场内简称“沪深300ETF华泰柏瑞”，该产品最新规模达4,384.80亿元 [3][9]