我国研发首款等离子体工艺腔室仿真平台
科技日报·2026-01-15 22:23
行业与公司核心动态 - 原子级制造被定位为推进新型工业化的核心“根技术”,但面临技术瓶颈 [1] - 国内首款具有自主知识产权的等离子体工艺腔室仿真平台(MAPS)研发成功,可在虚拟世界复现实体制造过程,实现产品提前研发和性能预判 [1] - 该技术由大连理工大学科研团队研发 [1] 技术产品详情 - 仿真平台(MAPS)可对原子级制造装备进行全方位仿真,包括外控参数和装置几何结构,并给出最终演化结果 [1] - 该技术能节省整个部件研发时间,提高研发效率 [1] - 技术已应用于拓荆科技、华为等多家集成电路装备企业 [1] - 较国外同类型产品,该技术可节约经济成本15%、节约时间成本20% [1] 产学研合作与人才培养 - 研发团队与国内许多头部企业开展深入合作,并建立了校企联合实验室 [1] - 合作模式使学生在校期间即可深入企业参与联合技术攻关项目 [1] - 该模式旨在为相关产业培养更多高精尖紧缺人才 [1] 政策与产业规划 - 辽宁省已将原子级制造纳入未来产业重点方向 [1] - 辽宁省依托重点实验室群等载体,组织原子级制造技术专题路演推介等活动 [1] - 辽宁省设立了未来产业科技计划,围绕原子级制造、量子科技、具身智能等方向开展基础研究和前沿攻关 [1] - 政策目标是努力形成一批助力产业发展的“根技术”,以加快实现“换道超车” [1]