公司主营业务与定位 - 公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进真空获得和流体控制等相关核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案 [7][12] - 公司的战略目标是成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司，为半导体设备国产化贡献力量 [8][20] 技术实力与研发投入 - 公司已获授权的境内外专利共计261项，其中发明专利108项，占全部已获授权专利的41.38% [16] - 报告期内（2022年至2024年及2025年上半年），公司研发费用分别为2154.21万元、3696.37万元、5528.00万元和4330.84万元，最近三年累计研发投入11378.58万元，占当期营业收入比例为11.11%，研发投入的复合增长率为60.19% [19] - 公司建立了“基石技术+产品化支撑技术”的技术体系，掌握了信号采样及处理、相位同步锁定、快速调频、脉冲控制等关键技术，其产品能将射频赋能等离子体过程控制在10毫秒等级 [22] - 公司承担了国家半导体产业的基础再造和重大技术装备攻关任务，先后承接3项国家级重大专项课题 [22] 财务表现与盈利能力 - 报告期内，公司营业收入分别为15815.80万元、32526.85万元、54079.03万元和30405.63万元，2022年至2024年营业收入复合增速为84.91% [17] - 报告期内，归属于母公司股东的净利润分别为2618.79万元、7982.73万元、14154.02万元和6934.76万元 [17] - 报告期内，公司主营业务毛利率分别为41.49%、45.86%、48.51%和49.01%，呈逐年提升趋势 [18] - 报告期内，公司自研产品毛利率分别为50.30%、54.58%、54.45%和54.66% [18] 市场地位与客户情况 - 公司是国内极少数实现批量交付半导体级等离子体射频电源系统的企业，已实现对拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商的批量供货，并通过了中芯国际等国内龙头终端晶圆厂的准入审核 [13] - 截至2025年6月30日，公司与相关客户已实现百万级收入的自研产品共38款，实现千万级收入的自研产品共24款 [14] - 2024年，中国半导体行业等离子体射频电源系统的市场规模为65.6亿元，在中国半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中，公司的市场份额位列第一 [26] - 公司是国内首家出货过亿元和首家实现等离子体射频电源系统（支持半导体先进制程）量产的国产厂商 [25] 产品与产能规划 - 公司自主研发的第二代产品Bestda系列等离子体射频电源系统可支撑28纳米制程，第三代产品Aspen系列可支撑7至14纳米制程，达到国际先进水平，填补国内空白 [25] - 公司计划使用募集资金在沈阳新建半导体射频电源产业化中心，在深圳扩建半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地，以解决产能瓶颈问题 [23] 行业背景与竞争格局 - 公司属于“新一代信息技术”和“高端装备制造”两大战略性新兴产业的交叉领域，具体属于“半导体器件专用设备制造” [24] - 等离子体射频电源系统是PECVD、刻蚀等核心半导体装备的关键部件，长期被MKS、AE等海外巨头垄断，2024年中国半导体领域该产品的国产化率不足12% [9] - 全球等离子体射频电源系统市场呈现高度垄断的竞争格局，主要以美国的MKS和AE为主，国产产品目前主要用于国内半导体设备商 [26] 本次发行概况 - 公司本次拟公开发行人民币普通股（A股）不超过1693.0559万股，占发行后总股本的比例不低于25.00% [30] - 本次发行初始战略配售发行数量为338.6111万股，占本次发行数量的20.00%，参与战略配售的投资者包括中信证券投资有限公司、员工资管计划及拓荆科技、中微临港等多家产业投资者 [31] - 本次募集资金投资总额为151816.13万元，拟使用募集资金投入金额为146900.00万元，将用于沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能生产运营基地项目、研发与前沿技术创新中心项目、营销及技术支持中心项目及补充流动资金 [32][33]