中科仪:以真空技术之盾,守护中国半导体供应链自主安全
中金在线·2026-01-16 17:22

公司背景与战略定位 - 公司是中国科学院下属专注于洁净真空、超高真空技术研发与产业化的企业,承载突破“卡脖子”技术、推动高端装备国产化的国家战略使命 [1] - 公司背靠中科院,拥有真空技术装备国家工程研究中心等三大“国字号”研发平台,构建了从基础研究到应用开发的全链条创新体系 [2] - 公司于2025年6月申报北交所上市,募集资金中47,388.27万元将投入沈阳高端半导体设备扩产及研发中心建设项目,以服务东北振兴等国家战略 [8] 技术实力与研发投入 - 公司累计获得6项国家科技进步奖,包括1项特等奖、多项一等奖和二等奖,彰显其在真空技术领域的领先地位 [3] - 公司自主研发的干式真空泵产品满足14nm逻辑芯片及128层3D NAND存储芯片全工艺环节需求,是国内唯一在集成电路先进制程实现批量应用、覆盖全工艺场景的国产企业 [3] - 公司为国家重大科技基础设施提供关键设备,例如为“上海光源国家重大科学工程”提供了70%以上的前端区设备和50%以上的光束线设备 [4] - 截至2025年中报,公司拥有100项发明专利、19项实用新型专利、33项软件著作权,并主导制定13项国家行业标准 [4] - 近三年公司年均研发费用超8000万元,研发投入占营收比例稳定在9%以上,165名研发人员占员工总数的16.53% [2] - 公司核心管理团队累计专利超百项,董事长郭东民拥有10项发明专利及1项实用新型专利,董事兼总经理王光玉拥有52项发明专利及1项实用新型专利 [2] 市场表现与财务数据 - 在集成电路领域,公司干式真空泵产品已累计出货超3万台,2024年国内市场渗透率达12.72% [6] - 2022年至2024年,公司营业收入从69,808.55万元增长至108,229.01万元,复合增长率达24.51%;扣非后归母净利润从6,186.11万元增长至8,787.75万元,复合增长率19.19% [6] - 2025年前三季度,公司营业收入较上年同期增长21.93%,归母净利润大幅攀升359.07%,扣非后净利润同比增长8.04% [7] - 公司预计2025年全年营业收入将达124,106.00万元至128,106.00万元,同比增幅14.67%至18.37%;扣非后净利润预计增长14.20%至23.31% [7] - 公司核心技术产品收入占比连续三年超过88% [4] 产品应用与市场机遇 - 干式真空泵是集成电路制造15个主要工艺环节中11个环节的关键设备,公司产品打破了欧美日企业的长期垄断 [3] - 在光伏领域,2023年我国光伏产业对干式真空泵的需求达5.8-7万台,市场规模超40亿元,公司凭借技术优势占据重要市场份额 [6] - 在科研仪器领域,我国“十四五”期间将建设20项新增大科学装置,为公司的真空设备带来广阔应用空间 [6] 产能布局与规划 - 公司实施“南北双核”战略,南通智造基地与沈阳研发中心协同,2024年度干式真空泵产能达10,000台,居于行业领先地位 [7] - 本次发行募集资金投资项目达产后,公司罗茨、螺杆、涡旋等各类干式真空泵产能将达2.65万台 [7]

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