指数与ETF表现 - 截至2026年1月20日11:15，中证半导体材料设备主题指数下跌0.26% 成分股神工股份领涨10.63%，江化微上涨9.99%，华海诚科上涨8.87% 芯源微领跌4.07%，中微公司下跌2.81%，中船特气下跌2.51% [1] - 半导体设备ETF华夏（562590）下跌0.44% 该ETF近10天获得连续资金净流入，最高单日净流入3.65亿元，合计净流入17.94亿元，日均净流入达1.79亿元 [1] - 截至2026年1月20日11:23，上证科创板半导体材料设备主题指数上涨0.15% 成分股神工股份上涨13.68%，华海诚科上涨12.02%，兴福电子上涨7.27%，富创精密上涨4.50%，艾森股份上涨3.74% [1] - 科创半导体ETF（588170）上涨0.11% 该ETF近3天获得连续资金净流入，最高单日净流入9.88亿元，合计净流入16.57亿元，日均净流入达5.52亿元 [1] 行业前景与催化剂 - 东吴证券预测，2026年AI驱动，国产半导体设备将开启确定性强的扩产周期，全行业订单增速或将超过30% [1] - 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高的属性 [2] - 行业受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮以及光刻机技术进展 [2] 相关ETF产品构成 - 科创半导体ETF（588170）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中半导体设备（占比60%）和半导体材料（占比25%）细分领域的硬科技公司 [2] - 半导体设备ETF华夏（562590）的指数构成中，半导体设备占比63%，半导体材料占比24%，充分聚焦半导体上游产业 [2]