公司项目与资金变动 - 公司拟终止实施募投项目“集成电路刻蚀设备用硅材料扩产项目” [1] - 公司将节余募集资金约1.319亿元（131,946,959.87元）永久补充流动资金，该金额包含利息收入和现金管理收益 [1] - 该事项已通过公司董事会相关委员会及董事会会议审议，尚需提交股东大会审议 [1]