核心观点 - 大连理工大学科研团队成功研发出国内首款具有自主知识产权的等离子体工艺腔室仿真平台(MAPS) 该平台能通过虚拟仿真实现产品提前研发和性能预判 已应用于多家企业并带来显著的成本与时间节约 [1] 技术产品 - 平台名称为等离子体工艺腔室仿真平台(MAPS) 是国内首款具有自主知识产权的同类平台 [1] - 该平台可在虚拟世界中复现真实的制造过程 以实现产品的提前研发和性能预判 [1] - 平台可针对原子级制造装备进行全方位仿真 包括外控参数、装置几何结构等 并给出最终演化结果 [1] - 该技术已应用于拓荆科技、华为等多家企业 [1] 研发与应用效益 - 研发团队依托大连理工大学学科优势 展开了多年技术攻关、数万次等离子体实验测试 [1] - 该平台较国外同类型产品可节约经济成本15%、节约时间成本20% [1] - 平台的应用能节省整个部件研发时间 提高研发效率 [1] 产学研合作 - 研发团队与国内许多头部企业开展了深入合作 建立了校企联合实验室 [1] - 合作模式使得学生在校期间就可以深入企业参与联合技术攻关项目 [1] - 这一产学研合作模式将为相关产业培养出更多的高精尖紧缺人才 [1]