指数与ETF市场表现 - 截至2026年1月30日15:00，中证半导体材料设备主题指数下跌0.02%，成分股中华峰测控领涨12.25%，华海诚科上涨5.53%，珂玛科技上涨5.33%，有研新材领跌3.68%，沪硅产业下跌2.99%，三佳科技下跌2.67% [1] - 半导体设备ETF易方达当日下跌0.28%，报价2.15元，但截至1月29日本月累计上涨2.08% [1] - 该ETF盘中换手率为5.4%，成交额2.53亿元，近1周日均成交额3.34亿元，在可比基金中排名前2 [1] 基金规模与资金流向 - 半导体设备ETF易方达近1月规模增长31.86亿元，新增规模在可比基金中位居第2 [1] - 该ETF最新份额达21.80亿份，创近1年新高，在可比基金中份额排名第2 [1] - 该ETF最新单日资金净流入1.62亿元，近5个交易日内有4日净流入，合计净流入3.77亿元，日均净流入7544.83万元 [1] 指数与产品构成 - 半导体设备ETF易方达紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，该指数选取40只业务涉及半导体材料和设备的上市公司证券作为样本 [1] - 截至2025年12月31日，该指数前十大权重股合计占比65.08%，包括北方华创、中微公司、拓荆科技、长川科技、沪硅产业、华海清科、中科飞测、南大光电、安集科技、芯源微 [2] - 半导体设备ETF易方达设有场外联接基金，A类份额代码为021893，C类份额代码为021894 [2]