天溯计量:公司研制了《半导体集成电路制造台阶高度测试仪校准规范》等9项校准规范

公司技术研发与标准制定 - 公司在新一代电子信息产业研制了9项校准规范,包括《半导体集成电路制造台阶高度测试仪校准规范》等,弥补了部分战略性新兴产业细分领域标准与规范缺失的空白 [1] - 公司研发编制的《半导体集成电路制造晶圆表面颗粒测试仪校准规范TSZJ78》获得了CNAS认可,解决了行业该类设备纳米级精度计量校准的难题 [1] 行业影响与定位 - 公司的校准规范工作针对半导体集成电路制造等战略性新兴产业细分领域 [1] - 公司的技术成果解决了行业在纳米级精度计量校准方面的难题 [1]

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