指数与ETF市场表现 - 截至2026年2月3日11:30，中证半导体材料设备主题指数(931743)强势上涨2.13% [1] - 指数成分股华峰测控上涨6.93%，长川科技上涨6.54%，中科飞测上涨3.43%，中微公司、盛美上海等个股跟涨 [1] - 跟踪该指数的半导体设备ETF易方达(159558)上涨1.90%，最新价报2.09元 [1] - 拉长时间看，截至2026年2月2日，半导体设备ETF易方达近1月累计上涨13.14% [1] ETF流动性、规模与资金流向 - 半导体设备ETF易方达盘中换手率为3.39%，成交额为1.58亿元 [1] - 截至2月2日，该ETF近1月日均成交额为3.15亿元，居可比基金前2名 [1] - 该ETF近3月规模增长29.58亿元，实现显著增长，新增规模位居可比基金第2名（共5只） [1] - 该ETF最新份额达22.29亿份，创近1年新高，份额位居可比基金第2名（共5只） [1] - 该ETF近3天获得连续资金净流入，最高单日净流入1.62亿元，3天合计净流入2.66亿元，日均净流入达8875.87万元 [1] 指数构成与产品信息 - 中证半导体材料设备主题指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本 [1] - 截至2026年1月30日，该指数前十大权重股分别为中微公司、北方华创、拓荆科技、长川科技、华海清科、沪硅产业、中科飞测、南大光电、芯源微、安集科技 [2] - 前十大权重股合计占比为63.99% [2] - 半导体设备ETF易方达(159558)提供场外联接基金，A类份额代码为021893，C类份额代码为021894 [2]