指数与ETF市场表现 - 截至2026年2月5日14:04，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)下跌0.07% [1] - 指数成分股涨跌互现，其中芯源微领涨6.87%，天岳先进上涨3.16%，中微公司上涨2.37%；华峰测控领跌6.11%，有研硅下跌2.94%，拓荆科技下跌2.91% [1] - 科创半导体ETF(588170)当日上涨0.06%，最新价报1.75元 [1] - 拉长时间看，截至2026年2月4日，科创半导体ETF近1月累计上涨16.35% [1] ETF流动性、规模与资金流向 - 科创半导体ETF盘中换手率为8.68%，成交额为6.77亿元 [1] - 截至2月4日，该ETF近1月日均成交额达11.04亿元，居可比基金第一 [1] - 近2周，科创半导体ETF规模增长1.60亿元，新增规模位居可比基金前三分之一 [1] - 近2周，科创半导体ETF份额增长3.26亿份，新增份额位居可比基金前三分之一 [1] - 该ETF最新单日资金净流出5938.88万元 [1] - 近5个交易日内有3日资金净流入，合计净流入2.02亿元，日均净流入达4039.18万元 [1] 指数构成与ETF产品 - 上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本 [2] - 截至2026年1月30日，该指数前十大权重股合计占比73.89%，包括华海清科、中微公司、拓荆科技、中科飞测、沪硅产业、芯源微、安集科技、华峰测控、天岳先进、盛美上海 [2] - 科创半导体ETF(588170)紧密跟踪上述指数，并设有场外联接基金（A类份额代码024417，C类份额代码024418） [2] ETF跟踪精度 - 截至2026年2月4日，科创半导体ETF近1月跟踪误差为0.007%，在可比基金中跟踪精度最高 [1]