指数与ETF市场表现 - 截至2026年2月6日10:56，中证半导体材料设备主题指数上涨0.39%，成分股江丰电子上涨6.32%，有研新材上涨3.01%，上海新阳上涨1.61%，矽电股份上涨1.55%，中科飞测上涨1.45% [1] - 半导体设备ETF华夏(562590)当日上涨0.05%，报1.89元，截至2026年2月5日，该ETF近1月累计上涨10.26% [1] - 截至2026年2月5日，半导体设备ETF华夏近1月日均成交额为2.37亿元，当日盘中换手率为2.53%，成交6842.24万元 [1] ETF规模与资金流向 - 半导体设备ETF华夏最新规模达27.11亿元 [2] - 该ETF最新单日资金净流出929.88万元，但拉长时间看，近23个交易日内有18日资金净流入，合计净流入18.64亿元，日均净流入达8103.04万元 [2] 产品特性与指数构成 - 半导体设备ETF华夏紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，该指数选取40只业务涉及半导体材料和设备领域的上市公司证券作为样本 [2] - 截至2026年2月5日，半导体设备ETF华夏今年以来跟踪误差为0.009%，在可比基金中跟踪精度最高 [2] - 截至2026年1月30日，中证半导体材料设备主题指数前十大权重股包括中微公司、北方华创、拓荆科技等，合计权重为63.99% [2]