指数与ETF表现 - 截至2026年2月6日，上证科创板半导体材料设备主题指数上涨0.63% [1] - 指数成分股欧莱新材上涨11.88%，耐科装备上涨6.06%，天岳先进上涨2.64%，中芯国际上涨1.74%，沪硅产业上涨1.35% [1] - 科创半导体ETF(588170)上涨0.63%，最新价报1.76元 [1] - 截至2026年2月5日，科创半导体ETF近1月累计上涨10.43% [1] 流动性、规模与份额 - 科创半导体ETF盘中换手率为5.94%，成交额为4.70亿元 [1] - 截至2月5日，科创半导体ETF近1月日均成交额为11.09亿元，在可比基金中排名第一 [1] - 科创半导体ETF近1月规模增长40.51亿元，新增规模位居可比基金前三分之一 [1] - 科创半导体ETF近2周份额增长1.28亿份，新增份额位居可比基金前三分之一 [1] 资金流向与跟踪精度 - 科创半导体ETF最新单日资金净流出3098.24万元 [1] - 近10个交易日内有6日资金净流入，合计净流入5.81亿元，日均净流入达5807.48万元 [1] - 截至2026年2月5日，科创半导体ETF今年以来跟踪误差为0.007%，在可比基金中跟踪精度最高 [1] 指数构成与产品信息 - 上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本 [2] - 截至2026年1月30日，该指数前十大权重股合计占比73.89%，包括华海清科、中微公司、拓荆科技、中科飞测、沪硅产业、芯源微、安集科技、华峰测控、天岳先进、盛美上海 [2] - 科创半导体ETF(588170)的场外联接基金为华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF发起式联接A(024417)和联接C(024418) [2]