半导体设备ETF华夏市场表现 - 截至2月6日午间收盘，半导体设备ETF华夏（562590）上涨0.37%，报1.899元，成交额为8383.11万元 [1] - 该ETF自2023年10月9日成立以来，累计回报率达88.71% [1] - 该ETF近一个月回报率为10.29% [1] 半导体设备ETF华夏持仓与基准 - 该ETF的业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率 [1] - 该ETF由华夏基金管理有限公司管理，基金经理为单宽之 [1] - 其前十大重仓股在2月6日午盘表现分化：北方华创涨1.31%，拓荆科技涨1.13%，沪硅产业涨1.11%，中科飞测涨1.50%，南大光电涨0.72%，安集科技涨1.04%，华海清科涨0.52%，芯源微涨0.01%，而中微公司跌0.26%，长川科技跌0.42% [1]