指数与ETF市场表现 - 截至2026年2月6日13:58，中证半导体材料设备主题指数上涨0.53%，成分股江丰电子上涨12.43%，有研新材上涨5.63%，矽电股份上涨4.85%，上海新阳上涨1.48%，北方华创上涨1.46% [1] - 半导体设备ETF华夏价格上涨0.21%，报1.9元，截至2026年2月5日，该ETF近1月累计上涨10.26%，涨幅在可比基金中排名第2 [1] - 截至2026年2月5日，半导体设备ETF华夏今年以来跟踪误差为0.009%，在可比基金中跟踪精度最高 [1] ETF流动性与规模 - 半导体设备ETF华夏盘中换手率为3.94%，成交额为1.07亿元，截至2月5日，近1月日均成交额为2.37亿元 [1] - 半导体设备ETF华夏最新规模达到27.11亿元 [1] - 半导体设备ETF华夏最新单日资金净流出929.88万元，但近23个交易日内有18日资金净流入，合计净流入18.64亿元，日均净流入达8103.04万元 [1] 指数构成与ETF产品 - 半导体设备ETF华夏紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，该指数选取40只业务涉及半导体材料和设备领域的上市公司证券作为样本 [2] - 截至2026年1月30日，中证半导体材料设备主题指数前十大权重股合计占比63.99%，包括中微公司、北方华创、拓荆科技、长川科技、华海清科、沪硅产业、中科飞测、南大光电、芯源微、安集科技 [2] - 半导体设备ETF华夏设有场外联接基金：华夏半导体材料设备ETF联接A和联接C [2]