半导体设备ETF华夏市场表现 - 截至2月10日午间收盘，半导体设备ETF华夏（562590）下跌0.83%，报1.904元，成交额为6419.00万元 [1] - 该ETF自2023年10月9日成立以来，累计回报率为92.01%，近一个月回报率为1.48% [1] - 其业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率，管理人为华夏基金管理有限公司，基金经理为单宽之 [1] 半导体设备ETF华夏重仓股表现 - 截至2月10日午盘，前十大重仓股中，南大光电上涨1.92%，芯源微上涨1.13% [1] - 其余重仓股普遍下跌，其中中科飞测下跌3.71%，长川科技下跌3.57%，中微公司下跌1.36%，华海清科下跌0.84%，拓荆科技下跌0.82%，安集科技下跌0.71%，北方华创下跌0.70%，沪硅产业下跌0.62% [1]