指数与ETF表现 - 截至2026年2月10日13:29，上证科创板半导体材料设备主题指数上涨0.66%，成分股中华峰测控上涨10.38%，兴福电子上涨6.37%，欧莱新材上涨5.26%，京仪装备上涨3.33%，艾森股份上涨2.69% [1] - 跟踪该指数的科创半导体ETF（588170）上涨0.73%，最新价报1.79元 [1] - 截至2026年2月10日13:31，中证半导体材料设备主题指数上涨0.15%，成分股中华峰测控上涨9.65%，京仪装备上涨3.30%，艾森股份上涨2.41%，芯源微上涨2.18%，南大光电上涨1.78% [1] - 跟踪该指数的半导体设备ETF华夏（562590）上涨0.16%，最新价报1.92元 [1] 市场流动性及规模 - 科创半导体ETF盘中换手率为6.71%，成交额为5.42亿元 [1] - 半导体设备ETF华夏盘中换手率为2.78%，成交额为7655.52万元 [1] - 科创半导体ETF近3个月规模增长42.96亿元，新增规模位居可比基金前列 [1] - 半导体设备ETF华夏最新规模达27.59亿元 [1] 资金流向 - 科创半导体ETF最新资金净流出6371.43万元，但近10个交易日内合计资金净流入1.82亿元 [2] - 半导体设备ETF华夏最新资金净流入382.94万元，近21个交易日内有15日资金净流入，合计净流入12.69亿元，日均净流入达6042.88万元 [2] 行业动态与投资 - 2026年2月5日，广州市白云区人民政府与韩国半导体设备企业STI株式会社签署投资协议，STI将在白云区投资建设功率半导体智造基地 [2] - 该项目选址广州民营科技园，总投资额约124亿元，一期投资约16亿元，主要生产AMB陶瓷基板，计划春节后动工，预计年底投产，达产后预计年产值约30亿元 [2] - 东海证券认为，AI数据中心、新能源车、储能和工业控制等下游领域快速发展，推动功率半导体市场需求持续攀升，其中AI服务器的爆发式增长成为重要需求增量来源 [2] 相关ETF产品信息 - 科创半导体ETF（588170）及其联接基金跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，该指数囊括科创板中半导体设备（占比60%）和半导体材料（占比25%）细分领域的公司 [3] - 半导体设备和材料行业是重要的国产化替代领域，具备国产化率较低、替代天花板较高的属性，受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮及光刻机技术进展 [3] - 半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金跟踪的指数中，半导体设备占比63%，半导体材料占比24%，充分聚焦半导体上游产业 [3]