行业定义与分类 - 刻蚀机是一种用于半导体制造的工艺试验仪器，通过结合化学反应物和物理能量去除材料表面以创建微细结构 [1][20] - 主要分为湿法刻蚀机和干法刻蚀机，湿法刻蚀机包括化学刻蚀机和电解刻蚀机，干法刻蚀机包括离子铣刻蚀机、等离子刻蚀机和反应离子刻蚀机 [1][20] 行业发展现状与市场规模 - 刻蚀机主要用来制造半导体器件、光伏电池及其他微机械 [3][23] - 全球刻蚀机市场规模呈增长趋势，2023年约为148.2亿美元，同比增长5.93% [1][3][20][23] - 2024年市场规模约为156.5亿美元，预计2025年将达到164.8亿美元 [1][3][20][23] 行业产业链 - 产业链上游主要包括预真空室、刻蚀腔体、供气系统和真空系统等半导体材料和零部件 [5][25] - 行业中游为刻蚀机制造与系统集成 [5][25] - 行业下游应用于微电子机械系统（MEMS）、先进封装及纳米技术等半导体、光学和电子工业领域 [5][25] 行业发展环境与政策 - 刻蚀机作为半导体制造的核心设备，其技术水平直接关系到半导体产业发展，中国政府高度重视并出台了一系列支持政策 [7][27] - 相关政策包括：2022年3月广州市的《广州市半导体与集成电路产业发展行动计划（2022-2024年）》支持刻蚀机等半导体设备 [9][29] - 2022年3月黑龙江省的《黑龙江省“十四五”数字经济发展规划》布局刻蚀机等集成电路关键装备制造 [9][29] - 2023年6月多部委联合发布的《制造业可靠性提升实施意见》涉及提升相关领域水平 [9][29] - 2024年1月山东省的《关于推进钙钛矿太阳能电池产业发展的实施方案》聚焦关键设备国产化替代 [9][29] - 2024年1月山东省的《关于加快数字经济高质量发展的意见》支持发展EDA及设备，加快形成第三代半导体产业链 [9][29] - 2024年7月国家发改委、财政部的《关于加力支持大规模设备更新和消费品以旧换新的若干措施》安排超长期特别国债资金支持设备更新 [9][29] - 2024年9月国家金融监督管理总局办公室的《关于促进金融机构支持大规模设备更新和消费品以旧换新行动的通知》鼓励金融租赁公司探索与集成电路设备等适配的业务 [9][29] - 2025年1月人力资源社会保障部的《关于推动技能强企工作的指导意见》聚焦集成电路等领域挖掘新的技能 [9][29] 行业竞争格局 - 行业竞争格局高度集中且竞争激烈 [11][31] - 全球市场由Lam Research、TEL、AMAT三家国际企业凭借先进技术和丰富产品线占据主导地位 [11][31] - 国内主要企业包括北方华创、中微公司、中国电科、屹唐半导体、创世威纳科技、金盛微纳科技、芯源科创、华林科纳等 [11][31] - 国内业务前三大企业为中微公司、北方华创、屹唐半导体，它们凭借自主研发和创新能力成为国内领军企业 [11][31] 代表企业分析：北方华创 - 北方华创专注于半导体基础产品的研发、生产、销售和技术服务，主要产品为电子工艺装备和电子元器件 [14][34] - 在半导体装备业务板块，主要产品包括刻蚀、薄膜沉积、热处理、湿法、离子注入等核心工艺装备，广泛应用于集成电路、功率半导体、先进封装等多个制造领域 [14][34] - 在刻蚀设备领域，已形成ICP、CCP、Bevel刻蚀设备、高选择性刻蚀设备和干法去胶设备的全系列产品布局 [14][34] - 具体产品包括用于12英寸逻辑和存储的导体刻蚀设备（ICP）、介质刻蚀设备（CCP）、高深宽比介质刻蚀设备（CCP）、晶边刻蚀设备（Bevel）、高选择性刻蚀设备、干法去胶设备，以及用于8英寸和LED领域的多种刻蚀设备 [16][36]