市场表现与交易数据 - 截至2月12日11:06，上证科创板半导体材料设备主题指数下跌0.34%，成分股中欧莱新材领涨18.32%，耐科装备领跌3.38% [1] - 截至2月12日11:08，中证半导体材料设备主题指数下跌0.12%，成分股中江丰电子领涨8.56%，拓荆科技领跌1.96% [1] - 科创半导体ETF（588170）下跌0.45%，报价1.75元，盘中换手率4.25%，成交额3.45亿元 [1] - 半导体设备ETF华夏（562590）下跌0.16%，报价1.90元，盘中换手率2.25%，成交额6131.29万元 [1] - 科创半导体ETF近1周规模增长2.05亿元，新增规模领先同类 [1] - 半导体设备ETF华夏最新规模达27.06亿元 [1] 资金流向 - 科创半导体ETF最新资金净流入1058.84万元，近5个交易日内有3日净流入，合计净流入1.21亿元，日均净流入2412.91万元 [2] - 半导体设备ETF华夏最新资金净流出2666.79万元，但近23个交易日内有16日净流入，合计净流入12.46亿元，日均净流入5418.13万元 [2] 行业技术与趋势 - SK海力士提出一种结合HBM和HBF的新型半导体结构，实验表明与单独使用HBM相比，该配置可将每瓦计算性能提升高达2.69倍 [2] - 兴业证券指出，先进封装产业的核心瓶颈在于大尺寸硅中介层与TSV等精密工艺制造难度大、良率爬坡周期长，同时高端封装设备与材料的国产化率仍然较低 [2] - 在AI算力需求爆发与供应链自主可控的双重驱动下，产业具备明确且持续的成长空间 [2] 相关ETF产品概况 - 科创半导体ETF（588170）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，成分股中半导体设备占比60%，半导体材料占比25% [3] - 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高的属性 [3] - 半导体设备ETF华夏（562590）跟踪的指数中，半导体设备占比63%，半导体材料占比24%，充分聚焦半导体上游 [3]