半导体设备ETF华夏市场表现 - 截至2月12日午间收盘，半导体设备ETF华夏（562590）下跌0.11%，报1.897元，成交额为7136.72万元 [1] - 该ETF自2023年10月9日成立以来，累计回报率达到89.93%，近一个月回报为0.38% [1] 半导体设备ETF华夏持仓股表现 - 前十大重仓股中，长川科技上涨0.22%，华海清科上涨0.33%，南大光电上涨0.13%，芯源微上涨0.77% [1] - 前十大重仓股中，北方华创下跌0.59%，中微公司下跌1.63%，拓荆科技下跌1.83%，沪硅产业下跌0.19%，中科飞测下跌0.33%，安集科技下跌0.73% [1] 半导体设备ETF华夏产品信息 - 该ETF的业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率 [1] - 该ETF的管理人为华夏基金管理有限公司，基金经理为单宽之 [1]