ETF市场表现 - 半导体设备ETF华夏（562590）在2月13日午间收盘时价格上涨1.99%，报1.946元，成交额达到1.32亿元 [1] - 该ETF自2023年10月9日成立以来，累计回报率达到90.88% [1] - 该ETF近一个月的回报率为-0.41% [1] 成分股表现 - 该ETF重仓股北方华创在午盘时上涨3.39% [1] - 重仓股拓荆科技上涨3.86%，芯源微上涨3.64% [1] - 重仓股中科飞测上涨2.60%，华海清科上涨2.47%，长川科技上涨2.50% [1] - 重仓股中微公司上涨0.77%，南大光电上涨0.89%，沪硅产业上涨0.24%，安集科技上涨0.09% [1] 产品基本信息 - 半导体设备ETF华夏（562590）的业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率 [1] - 该ETF的管理人为华夏基金管理有限公司，基金经理为单宽之 [1]