中微半导体设备(上海)股份有限公司2025年度业绩快报公告
上海证券报·2026-02-28 03:16

2025年度经营业绩 - 2025年营业收入约123.85亿元,较2024年增加约33.19亿元,同比增长约36.62% [2][6] - 2025年归属于母公司所有者的净利润约21.11亿元,同比增加约30.69%;扣除非经常性损益的净利润约15.50亿元,同比增加约11.64% [2][7] - 报告期末总资产约297.72亿元,较期初增加13.56%;归属于母公司的所有者权益约226.95亿元,较期初增加14.99% [8] 分产品收入与增长 - 刻蚀设备销售约98.32亿元,同比增长约35.12%,是收入增长的核心驱动力 [6][11] - LPCVD和ALD设备销售约5.06亿元,同比增长约224.23%,呈现爆发式增长 [6][11] 研发投入与创新成果 - 2025年研发投入约37.44亿元,较2024年增长12.91亿元,同比增长约52.65%,研发投入占营业收入比例高达30.23% [2][7] - 研发费用24.75亿元,较去年增长约10.58亿元,同比增长约74.61% [7] - 新产品开发成效显著,近两年新开发出十多种导体和介质薄膜设备,多款已进入市场并获得重复订单,LPCVD设备累计出货量突破三百个反应台 [9] 核心技术进展与市场地位 - 刻蚀设备:针对先进逻辑和存储器件制造的关键刻蚀工艺高端产品新增付运量显著提升,已实现稳定可靠的大规模量产;累计已有超过7,800个反应台在国内外170余条客户产线量产,其中刻蚀设备反应台全球累计出货超过6,800台 [2][9] - 薄膜设备:CDP部门开发的LPCVD、ALD等十多款薄膜设备性能已达国际领先水平,薄膜设备覆盖率不断增加 [2] - 外延设备:EPI设备已付运至成熟及先进制程客户进行量产验证;常压外延设备完成开发进入工艺验证阶段;正在开发更多化合物半导体外延设备并付运验证 [2][9] - MOCVD设备:保持国际氮化镓基MOCVD设备市场领先地位,积极布局碳化硅和氮化镓基功率器件市场,Micro-LED等专用MOCVD设备开发取得良好进展 [9] 产能与供应链保障 - 南昌约14万平方米和上海临港约18万平方米的生产和研发基地已投入使用,保障销售快速增长 [10] - 持续开发关键零部件供应商,推动供应链稳定安全,设备交付率保持在较高水准 [10] 重大资产重组事项进展 - 公司拟通过发行股份及支付现金的方式购买杭州众硅电子科技有限公司的控股权并募集配套资金 [15] - 公司股票曾因此事项于2025年12月19日起停牌,并于2026年1月5日复牌 [16][17] - 截至2026年2月28日公告日,交易涉及的审计、评估等工作正在有序进行中,公司正在积极推进相关工作 [18]

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