报告行业投资评级 - 强于大市（维持），预计 6 个月内，行业指数表现强于市场表现 5%以上 [1][39] 报告的核心观点 - 新凯来携三十余款产品亮相 SEMICON，半导体设备国产化水平再上新台阶，其展出设备数量多、系列全，平台型属性明显，有望推动半导体设备国产化进程，部分设备支持向先进节点演进，未来有望缓解国内先进制程扩产的卡脖子问题 [3][37] 根据相关目录分别进行总结 新凯来携三十余款设备惊艳亮相 SEMICON China 2025 - 新凯来总部位于深圳，在多地设有研发中心，建立了端到端研发体系，致力于半导体装备开发制造 [7] - 2025 年 3 月 26 - 28 日，SEMICON China 2025 在上海举办，新凯来携 30 余款涵盖扩散、刻蚀等领域的产品亮相，展示多品类、全系列产品矩阵 [3][7] 扩散设备：推出 EPI 和 RTP 共六款产品 - EPI（峨眉山）是 12 英寸单片减压外延生长设备，采用创新架构，覆盖多种应用场景，支持向先进节点演进，具有多分区温控等特点 [10] - RTP（三清山）是快速热处理设备，不同型号覆盖不同应用领域，支持先进工艺演进，具备大行程磁悬浮升降等技术特点 [12] 刻蚀设备：推出 CCP、ICP、自由基干法刻蚀 - 刻蚀设备（武夷山）有三款产品，分别满足精细介质、精细硅/金属、高选择性刻蚀场景需求，具备等离子体快速稳定切换等特点 [13][14] 薄膜沉积设备：推出 PVD、CVD、ALD 系列产品 - PVD（普陀山）有三款产品，分别适用于金属平面膜、中道金属接触层及硬掩膜、后道金属互联沉积场景，具备全靶腐蚀算法等特点 [17][18] - ALD（阿里山）有三款产品，覆盖不同介质和金属原子层沉积应用场景，支持向先进节点演进，具备超高速射频匹配等特点 [20][21][22] - CVD（长白山）有两款产品，覆盖介质和金属化学气相沉积应用场景，支持向先进节点演进，具备高均匀流热场腔室设计等特点 [23][24] 量检测设备：推出多种类系列量检测设备族 - 晶圆缺陷检测产品包括明场、暗场、无图案晶圆缺陷检测设备，为不同客户提供高灵敏度、高产率等检测解决方案 [26] - 套刻量测产品（天门山）包括衍射和图形套刻量测产品，为客户提供高产率、高精度和高重复性的套刻量测解决方案 [28] - X 射线量测产品（赤壁山）包括 XPS、XRD、XRF，为客户提供高产率、高精度等量测解决方案 [31] - 电性能检测产品包括晶圆、功率 Die、功率单管和模组电性能检测产品，为客户提供高规格、高效率等自动化检测解决方案 [33] - 还推出空白掩膜缺陷检测产品（MBI，莫干山）和原子力显微镜（AFM，沂蒙山），分别提供全场景空白掩膜缺陷检测和亚纳米级至毫米级量测解决方案 [35] 投资建议 - 建议关注至纯科技、新莱应材、富创精密、先锋精科、芯源微、中芯国际 [4][37]