报告行业投资评级 - 推荐，维持评级 [6] 报告的核心观点 - 受益于下游行业需求高景气，中国真空镀膜设备行业空间稳步增长，国产化进程有望持续推进，建议关注汇成真空、腾胜科技（未上市） [4][5] 根据相关目录分别进行总结 真空镀膜设备概况 真空镀膜技术可分为两大类 - 真空镀膜是在高度真空环境下，通过物理或化学手段将膜材转换成气态或等离子态并沉积于固体材质表面形成薄膜的过程，与传统镀膜方法相比，具有镀膜材料种类丰富、膜层厚度易控制等优势 [2][10] - 与传统电镀、热浸镀技术相比，真空镀膜技术具有不影响被镀材料质量、可自由选择镀膜材料、对环境影响小等优势 [3][11] - 真空镀膜技术主要分为物理气相沉积（PVD）技术和化学气相沉积（CVD）技术，PVD 技术包括蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀等，CVD 技术常见的有低压 CVD（LPCVD）和等离子增强 CVD（PECVD） [11] - 蒸发镀膜通过加热靶材使其气化并沉积到基片表面，分为热蒸发和电子束蒸发；溅射镀膜通过高能粒子轰击靶材使原子脱离并沉积到基片上，包括直流溅射、射频溅射和磁控溅射；离子镀膜通过等离子体电离技术离化镀料靶材并沉积到基片表面 [3][12] - 不同物理气相沉积技术各有优劣和适用场景，如蒸发镀膜设备简单、成膜速率快，但真空度要求高、薄膜附着力较弱；溅射镀膜大面积均匀性好、膜层密度和纯度较高，但设备结构复杂、靶材利用率低；离子镀膜薄膜损伤小、镀层附着力强，但设备成本高、膜厚精确控制难 [14] - 低压 CVD 适合制备均匀且致密的薄膜，常用于沉积氧化硅和氮化硅薄膜；等离子增强 CVD 可在较低温度下实现高质量膜层的制备，适合制备在热敏基片上的薄膜 [15][16] 行业空间及竞争格局 - 2018 - 2022 年，中国真空镀膜设备行业空间由 356.32 亿元增长至 577.87 亿元，CAGR 为 12.85% [4][17] - 2022 年，中国真空镀膜设备中磁控溅射设备、CVD 设备、PVD 镀膜设备占比分别为 55.42%、36.59%、6.98% [4][20] - 高端真空镀膜设备市场主要被应用材料、爱发科、德国莱宝等跨国公司占领，中国真空镀膜设备制造业起步于 20 世纪 60 年代，目前已形成门类齐全、布局合理的体系，随着上下游行业发展，行业竞争将日益激烈，国产化进程有望持续推进 [4][24] 真空镀膜设备产业链 - 真空镀膜设备行业处于上游原材料和下游镀膜厂商及终端应用之间，上游主要是从事镀膜材料、溅射靶材及各类真空镀膜机配件研发、生产和销售的企业，下游广泛应用于物件表面处理，涉及多个领域 [26] 真空镀膜下游需求稳步增长 消费电子行业受益于智能手机更新换代 - 真空镀膜技术在消费电子行业广泛应用，如显示面板生产、金属结构件、摄像头、玻璃应用等均需真空镀膜工艺 [29] - 2024 年度全球智能手机出货量为 12.33 亿部，较上年度增长 5.98%，长期来看，随着 5G 技术普及，中国智能手机更新换代将被推动 [29] - 2023 年，中国智能手机累计出货量为 2.86 亿部，较上年上升 5.65%，国内市场保持增长趋势 [32] 集成电路及光电器件行业需求稳步增长 - 集成电路产业中晶圆制造与真空镀膜息息相关，集成电路薄膜材料制造广泛采用 PVD 与 CVD 工艺，近年来中国集成电路行业快速发展，2016 - 2024 年，产量由 1317.95 亿块增长至 4514.2 亿块，CAGR 为 16.64% [35] - 真空镀膜技术在光学光电子元器件行业的生产制造中广泛应用，随着科技进步，该行业迎来良好发展机遇，2016 - 2024 年，中国光电器件产量由 93101 亿只增长至 18479.7 亿只，CAGR 为 8.98% [38][39] 复合铜箔有望带来新增量 - 复合铜箔是新型锂电池集流体材料核心材料，相比传统铜箔具有低成本、高安全和高能量密度的优势，其制备工艺需采用真空磁控溅射技术镀膜，分为真空磁控溅射活化及真空磁控溅射镀铜两个环节 [42] - 随着复合铜箔焊接工艺、产品良率问题逐步被攻克，产业化进程加快，有望驱动真空镀膜设备需求上升 [45] 相关标的 汇成真空（301392.SZ） - 汇成真空是一家面向全球的真空应用解决方案提供商，专注于真空设备及相关配件的研发、生产和销售，拥有多项专利和著作权 [46] - 公司重点发展多种核心技术组合，针对不同行业需求提供定制化解决方案，产品广泛应用于多个行业 [47] 腾胜科技（未上市） - 腾胜科技是一家专业研制、销售各类真空应用设备的国家级高新技术企业，获评为广东省“专精特新”中小企业和国家级专精特新“小巨人”企业 [49] - 公司拥有专业研发技术团队，与多所高校和研究所合作，研制的多款设备已实现同类进口产品的国产化替代，应用于多个行业领域 [49]