报告行业投资评级 - 推荐，维持评级 [6] 报告的核心观点 - 受益于下游行业需求高景气，中国真空镀膜设备行业空间稳步增长，国产化进程有望持续推进，建议关注汇成真空、腾胜科技（未上市） [4][5] 根据相关目录分别进行总结 真空镀膜设备概况 - 真空镀膜是在高度真空环境下，通过物理或化学手段将膜材转换成气态或等离子态并沉积于固体材质表面形成薄膜的过程，与传统镀膜方法相比，具有使用镀膜材料种类丰富、膜层厚度易控制等优势，与电镀、热浸镀技术相比，具有不影响被镀材料质量、可自由选择镀膜材料、对环境影响小等优势 [2][10][11] - 真空镀膜技术主要分为物理气相沉积（PVD）技术和化学气相沉积（CVD）技术，PVD技术包括蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀等，CVD技术常见的有低压CVD（LPCVD）和等离子增强CVD（PECVD） [11] - 2018 - 2022年，中国真空镀膜设备行业空间由356.32亿元增长至577.87亿元，CAGR为12.85%，2022年磁控溅射设备、CVD设备、PVD镀膜设备占比分别为55.42%、36.59%、6.98%，高端市场主要被跨国公司占领，中国真空镀膜设备制造业形成了门类齐全的体系，国产化进程有望推进 [4][17][20] - 真空镀膜设备行业处于产业链中游，上游是从事镀膜材料等研发、生产和销售的企业，下游广泛应用于物件表面处理及多个领域，上下游有关联性 [26] 真空镀膜下游需求稳步增长 - 真空镀膜技术在消费电子行业广泛应用，2024年度全球智能手机出货量为12.33亿部，较上年度增长5.98%，中国智能手机出货量也保持增长趋势，5G技术普及推动更新换代 [29][32] - 集成电路产业中晶圆制造与真空镀膜息息相关，2016 - 2024年，中国集成电路产量由1317.95亿块增长至4514.2亿块，CAGR为16.64%；光学光电子元器件行业中真空镀膜技术应用广泛，2016 - 2024年，中国光电器件产量由93101亿只增长至18479.7亿只，CAGR为8.98% [35][39] - 复合铜箔是新型锂电池集流体材料核心材料，制备工艺需采用真空磁控溅射技术，随着复合铜箔产业化进程加快，有望驱动真空镀膜设备需求上升 [42][45] 相关标的 - 汇成真空是面向全球的真空应用解决方案提供商，重点发展多种核心技术组合，产品广泛应用于多个行业 [46][47] - 腾胜科技是国家级高新技术企业，拥有专业研发技术团队，所研制设备被广泛应用于多行业领域，多款设备实现国产化替代 [49]