行业投资评级 - 对电子行业评级为“看好”,并维持该评级 [5] 核心观点 - 先进封装设备重要性提升,晶圆制造设备持续升级 [2][3][8][9] - 部分投资者低估了未来先进封装设备的市场体量以及国产设备厂商的技术创新能力和产品竞争力 [8] 根据相关目录分别进行总结 先进封装设备领域 - 头部半导体设备厂商在先进封装设备领域集中发力,键合设备等已成为核心布局赛道 [8] - 北方华创发布12英寸Qomola HPD30混合键合设备,成为国内率先完成D2W(芯片对晶圆)混合键合设备客户端工艺验证的厂商,聚焦SoC、HBM、Chiplet等3D集成应用 [8] - 拓荆科技推出3D IC系列新品,包括Pleione 300 HS芯片对晶圆熔融键合设备和Volans 300键合空洞修复设备,重点聚焦先进逻辑芯片Chiplet异构集成、三维堆叠及HBM相关应用 [8] - ASMPT推出全新裸晶圆处理系统ALSI LASER1206,为人工智能、智能出行等高增长市场提供解决方案 [8] 晶圆制造设备领域 - 国内企业持续强化创新布局,顺应刻蚀、薄膜沉积等多个领域的升级需求 [8] - 北方华创发布新一代12英寸NMC612H电感耦合等离子体(ICP)刻蚀设备,将ICP小尺寸刻蚀的深宽比提升到数百比一,均匀性带入埃米级时代,聚焦先进逻辑与先进存储领域 [8] - 中微公司推出新一代ICP刻蚀设备Primo Angnova和高选择性刻蚀机Primo Domingo,为5纳米及以下逻辑芯片及同等节点的先进存储芯片制造提供解决方案 [8] - 拓荆科技推出低介电薄膜设备PF-300L Plus nX PECVD和PEALD原子层沉积设备VS 300 Astra-s SiN [8] - 盛美上海推出全新产品组合架构“盛美芯盘”,并带来单片SPM喷嘴清洗、均匀大氮气泡鼓泡刻蚀、超临界二氧化碳三维清洗干燥等原创技术 [8] 半导体设备核心部件领域 - 本土半导体设备零部件企业实现多点突破,供应链体系有望持续完善 [8] - 中微公司推出用于高端刻蚀设备的关键子系统Smart RF Match智能射频匹配器 [8] - 启尔机电展出了磁悬浮泵、阻尼器、波纹管泵、液体超声流量控制器、流量传感器、液体纯化系统等产品 [8] 投资建议与相关标的 - 建议关注先进封装设备重要性提升和晶圆制造设备持续升级的投资主线 [3][9] - 相关标的包括:北方华创(买入)、中微公司(买入)、盛美上海(买入)、拓荆科技(买入)、华海清科(未评级)、百傲化学(未评级)、芯源微(买入)、ASMPT(未评级)、精测电子(买入)等 [3][9]
先进封装设备重要性提升,晶圆制造设备持续升级