报告投资评级 - 增持（维持） [1] 核心观点与业绩预测摘要 - 报告核心观点：公司营收持续增长，先进制程量检测设备验证进展顺利，新产品放量，下游行业高景气，上调盈利预测并维持“增持”评级 [1][7] - 2025年营收20.53亿元，同比增长48.75%，归母净利润0.59亿元，实现扭亏为盈 [1][7] - 2026年第一季度营收3.96亿元，同比增长34.63%，但归母净利润为-0.68亿元，环比转负 [7] - 盈利预测：预计公司2026/2027/2028年归母净利润分别为3.68亿元、6.85亿元、10.44亿元，对应每股收益（EPS）分别为1.05元、1.96元、2.98元 [1][7][8] - 估值：基于196.60元的现价，对应2026-2028年动态市盈率（P/E）分别为178倍、96倍、63倍 [1][7][8] 财务表现分析 - 营收增长：2024-2028年预测营业总收入分别为13.80亿元、20.53亿元、30.18亿元、45.02亿元、62.24亿元，同比增速分别为54.94%、48.75%、46.99%、49.17%、38.25% [1][8] - 盈利能力：2025年毛利率为49.93%，同比提升1.03个百分点；销售净利率为2.86%，同比提升3.69个百分点 [7] - 费用控制：2025年期间费用率为50.55%，同比下降4.95个百分点，其中研发费用率为31.95%，同比下降4.1个百分点，但研发费用绝对值达6.56亿元，同比增长31.95% [7] - 2026年第一季度毛利率波动：单季毛利率为47.77%，同比下降10.31个百分点，主要系销售结构季度波动及一季度营收规模较小影响 [7] - 现金流与营运指标：截至2026年第一季度末，合同负债达8.81亿元，较2025年末增长55.8%；存货为30.02亿元，较2025年末增长11.2%；2026年第一季度经营活动净现金流为-0.2亿元，同比环比净流出均收窄 [7] 业务进展与产品线 - 检测设备：2025年营收13.64亿元，同比增长38.52%，毛利率53.29% [7] - 量测设备：2025年营收6.23亿元，同比增长72.71%，毛利率41.91% [7] - 无图形晶圆检测设备：量产型号已覆盖1Xnm及以上工艺节点 [7] - 图形缺陷检测设备：广泛应用于逻辑、存储、先进封装等领域，其中用于HBM等先进封装的3DAOI设备及具备三维检测功能的设备已通过国内头部客户验证 [7] - 三维形貌量测设备：支持2Xnm及以上制程，应用于HBM等先进封装领域的设备已通过多家国内头部客户验证 [7] - 薄膜膜厚量测设备：已覆盖国内先进和成熟工艺的主要客户，金属薄膜设备订单稳步增长，新一代介质薄膜设备已通过多家国内主流客户验证 [7] - 套刻精度量测设备：90nm及以上节点设备已批量销售，2Xnm设备已通过国内头部客户产线验证并获得订单 [7] - 关键尺寸量测设备：2Xnm产品研发顺利，已完成客户端验证并实现对国内主流客户销售 [7] - 软件与系统：良率管理、缺陷分类、光刻套刻分析系统已陆续交付客户 [7] 市场数据与基础数据 - 股价与市值：收盘价196.60元，一年股价区间为70.10元至220.88元，总市值688.42亿元，流通市值544.31亿元 [5] - 估值比率：市净率（P/B）为13.57倍，基于最新每股净资产14.49元 [5][6] - 股本结构：总股本3.50亿股，流通A股2.77亿股 [6] - 资产负债：资产负债率（LF）为36.83% [6]