投资评级 - 维持“买入”评级 [3] 核心观点 - 公司毛利率呈逐步改善趋势，订单充足夯实增长基础 [1] - 2026年成长主线在于PECVD稳健放量、ALD加速导入及订单持续转化 [3] 财务表现与预测 - 2025年业绩：营收65.19亿元，同比增长58.87%；归母净利润9.27亿元，同比增长34.67%；毛利率34.95%，净利率14.03% [1] - 2026年第一季度业绩：营收11.12亿元，同比增长56.97%，环比下降51.61%；归母净利润5.71亿元，同比增长488.29%，环比增长54.13%；毛利率41.69%，扣非净利率9.18% [1] - 毛利率趋势：从2025年第四季度到2026年第一季度，毛利率呈现逐步改善趋势 [1] - 财务预测：预测2026-2027年营收分别为86.39亿元、111.56亿元；归母净利润分别为16.88亿元、22.72亿元；对应市盈率分别为71倍、53倍 [3][4] 业务分项分析 - PECVD设备：2025年实现营收51.42亿元，同比大幅增长75.27%；应用于先进存储、先进逻辑领域的新设备平台已批量通过客户验证并进入规模化量产；预计2026年仍是收入增长主要驱动力，收入有望接近67亿元，同比增长约30% [2] - ALD设备：2025年收入约3.01亿元，同比大幅增长191.82%；PE-ALD SiO₂/SiN/SiCO等产品量产规模提升，Thermal-ALD TiN通过客户验证；预计2026年收入有望超过6亿元，实现翻倍增长，收入比重有望持续提升 [2] 订单与增长可见度 - 订单情况：截至2025年末，公司合同负债达48.52亿元，较2024年末增长62.66%；在手订单金额约110亿元，为后续收入增长奠定基础 [3]