公司概况与技术原理 - 公司Lace Lithography AS于2023年7月在挪威卑尔根成立，由卑尔根大学的Bodil Holst教授和首席技术官Adria Salvador Palau共同创立，后者目前在西班牙巴塞罗那运营 [2] - 公司正在开发一种名为BEUV的原子光刻技术，该技术使用向表面发射的原子来定义特征，其分辨率理论上超越了当前极紫外光刻技术的极限 [2] - 该技术能够实现直接无掩模图案化，其分辨率甚至小于受波长限制的传统EUV系统所能达到的水平，传统EUV使用13.5nm波长的光 [2] - 公司声称，通过使用原子代替光，为芯片制造商提供了领先当前技术15年的功能，且成本更低、能耗更低 [2] 技术研发与项目进展 - 公司技术基础源于一篇发表在《物理评论A》上的论文，题为《利用中性氦原子进行真实尺寸表面映射》，由Salvador Palau和Holst教授共同撰写 [2] - 由欧盟资助的FabouLACE项目旨在开发基于色散力掩模的氦原子光刻技术，项目预算为250万欧元，由欧洲创新委员会提供，执行期为2023年12月1日至2026年11月30日 [2] - FabouLACE项目采用亚稳态原子和基于色散力的掩模，目标为实现2纳米工艺 [2] - 欧盟委员会已授权Lace光刻技术在2031年前将该技术推向市场，其性能将由IMEC研究机构进行监测和验证 [2] - 早期的NanoLACE研究项目于2019年启动，于2024年12月31日结束，已获得336万欧元的资助，总预算为365万欧元 [2] 融资情况 - Lace Lithography于2023年7月完成了约45万欧元的种子轮融资 [2] - 投资方包括Runa Capital、Vsquared Ventures、Future Ventures、欧洲创新委员会、挪威创新局和挪威研究委员会 [2] 行业影响与潜力 - 该BEUV光刻技术理论上可以实现更精细的特征，支持晶体管的持续小型化，旨在延伸摩尔定律 [2]