大族半导体8/12英寸SiC衬底激光剥离实现3大新突破
行家说三代半·2025-04-25 17:54
插播:英诺赛科、能华半导体、致能半导体、京东方华灿光电、镓奥科技等已确认参编《2024- 2025氮化镓(GaN)产业调研白皮书》,参编咨询请联系许若冰(hangjiashuo999)。 当前,碳化硅衬底价格下降压力较大,亟需降本。传统切割工艺普遍依赖传统多线切割技术,但该工艺效 率低、材料损耗,很难满足6-8英寸大尺寸碳化硅晶锭加工需求,尤其是在12英寸光波导碳化硅镜片制备 的难度较大。 针对激光剥离技术量产化难题,大族半导体以三大突破性技术破局: 低电阻 晶锭全兼容:突破 低电阻率晶 锭 激光加工 瓶颈,实现导电型衬底电阻率需求全覆盖; ● 砂轮损耗降40%+:采用LaserMesh™界面技术精准控制剥离面形貌(粗糙度≤2μm,TTV<10μm), 结合界面软化工艺,大幅 降低后续减薄成本 ; ● 12英寸 量产突破:全球率先实现12英寸导电/半绝缘晶锭激光剥离量产,推动大尺寸衬底迈向"低成本、高良 率"时代,为光电子、射频器件降本奠基。 要想详细了解更多关于大族半导体的碳化硅衬底激光剥离技术等,欢迎参加 "行家说三代半"于5月15日在 上海 ● 锦江汤臣洲际大酒店 召开 "电动交通&数字能源SiC技术应 ...