行业概述 - 半导体设备分为前道工艺设备（晶圆制造）和后道工艺设备（封装测试）两大类，前道工艺设备包括光刻机、刻蚀机、薄膜沉积机等11类共50多种机型，后道工艺设备主要包括分选机、划片机、贴片机等 [6] - 晶圆制造设备占半导体设备市场约90%，其中薄膜沉积设备、光刻设备、刻蚀设备是三大核心设备，合计占比超60%，薄膜沉积及刻蚀设备年均增速高于其他设备 [10] - 半导体设备行业长期受技术驱动规模增长，呈现约10年一个"M"形波动特征，中短期存在4-5年的周期性波动，存储芯片需求波动最大，模拟芯片抗周期能力最强 [12][13] 市场现状 - 2024年全球半导体设备市场规模达1170亿美元创历史新高，中国大陆以42.3%份额成为最大市场，设备支出达495.5亿美元同比增长35.4% [15] - 美系厂商占据全球半导体设备主要份额，2024年前五大厂商ASML、AMAT、LAM、TEL、KLA合计营收近900亿美元，北方华创作为唯一中国厂商排名升至第六 [19] - 国产设备在去胶、清洗、刻蚀等领域国产化率已达50%-80%，但在光刻、量测、离子注入等高端设备国产化率仍低于20% [20] - 2024年国产半导体设备公司营收合计459亿元同比增长34%，归母净利润82.2亿元同比增长25.1%，2019-2023年营收CAGR达38.6% [22][25] 驱动因素 - 政策支持力度持续加大，2024-2025年出台多项政策推动半导体设备及零部件研发，涵盖税收优惠、人才培养、技术攻关等方面 [31] - 美系设备厂商对中国市场依赖度高，2024财年AMAT、LAM、KLA对中国销售占比分别达37%、42%、43%，合计规模超200亿美元 [34][35] - 2025年全球成熟制程代工厂产能预计提升6%，中芯国际、华虹集团等国内厂商扩产计划将带动上游设备需求增长 [41][42] 行业发展趋势 - SEMI预计2025年全球半导体设备市场规模将达1210亿美元，2026年增至1390亿美元，受益AI、智能汽车等需求增长 [44] - 国产设备竞争转向服务战和成本战，通过全生命周期服务和本土化供应链优势，价格仅为进口设备的60%-70% [45] - 先进制程向2nm节点迈进，EUV光刻机主导高端市场，HBM4和Chiplet技术推动存储与算力升级，新材料如碳化硅、硅光芯片崭露头角 [45][46] 产业链分析 - 半导体零部件占设备成本约90%，市场规模约为设备市场的40%，2023年全球规模约340亿美元，机械类零部件价值量占比最高达20-40% [50][55] - 光刻机市场由ASML垄断82.1%份额，2024年全球市场规模315亿美元，EUV和ArFi机型贡献ASML 85%收入，单价分别达1.87亿和0.75亿欧元 [68][80] - 刻蚀设备2025年市场规模预计181.85亿美元，泛林半导体、东京电子、应用材料垄断90%份额，7nm芯片所需刻蚀工序达140次比28nm增加2.5倍 [91][94] - 薄膜沉积设备2025年市场规模预计239.6亿美元，PECVD占比33%，ALD设备在28nm以下制程中重要性凸显 [104][108]