据可靠业内人士透露，台积电南京厂已向中微半导体设备（上海）股份有限公司下单采购 10 台 5nm 介质刻蚀机 ，这些设备预计于 2026 年第一季度正式交付。 关于南京台积电： 台积电（南京）有限公司，是台积电在大陆的重要布局，于 2016 年登记成立，总投资约 30 亿美元，是台商在大 陆投资单体总量最大的项目之一。 该工厂位于南京江北新区，建设效率惊人，14 个月建成厂房，6 个月产出首片晶圆，创造了台积电成立 32 年来的 多项纪录。2018 年 10 月 31 日正式量产，以 12nm 及 16nm 制程技术为主，是大陆首座实现 12nm 制程量产的 12 英寸晶圆厂，大幅提升了大陆本地晶圆代工水平。 面对全球芯片结构性需求增长，尤其是车用芯片短缺引发的供应难题，2021 年台积电董事会批准资本预算，在南 京厂利用现有厂房，快速构建月产 4 万片的 28nm 产能。新产能于 2022 年下半年逐步投产，2023 年年中达到月 产 4 万片规模，加上原有的 2 万片 16nm 产能，南京厂产能显著提高，有力满足了全球客户对成熟制程芯片的迫 切需求。 作为全球最大的晶圆代工厂商，台积电在芯片制造领域一直处 ...