中科仪干式真空泵技术突破 - 干式真空泵在半导体制造中扮演关键角色，用于快速清除芯片加工腔室中的空气和气体，为薄膜沉积、刻蚀、离子注入、光刻等工艺提供洁净真空环境 [2] - 公司攻克了产业共性关键技术难题，产品达到国际同类先进水平，填补国内空白 [2] - 干式真空泵已在多家国内知名集成电路和光伏企业通过工艺验证并批量使用，打破欧美及日韩企业的长期垄断 [2] 公司背景与行业地位 - 中科仪前身为1958年成立的中国科学院直属事业单位，现为中国领先的半导体制造设备核心部件供应商 [2] - 主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售及技术服务 [2] - 公司组建了国家真空仪器装置工程技术研究中心、真空技术装备国家工程实验室及国家企业技术中心 [2] - 公司是国家级高新技术企业，在真空技术领域处于领军地位 [2]