东丽STF-2000光敏聚酰亚胺产品 - 东丽成功开发STF-2000光敏聚酰亚胺，可在200微米厚薄膜上实现30微米线宽加工（深宽比达7），并支持L/S=4μm以下高分辨率图案，适用于新型MEMS器件开发 [1] - 该产品不含NMP和PFAS，符合欧盟环保法规，预计2025年量产，厚膜片型正在开发中 [2] - 采用标准H线曝光系统即可形成复杂图案，无需升级至KrF或ArF光刻系统，降低中小厂商技术升级成本 [6] 产品技术特性对比 - STF-2000采用碱性水溶液显影，兼具耐热性（200μm厚度）、耐化学性、力学性能、绝缘性和抗X射线等结构优势 [9] - 对比非光敏材料：STF-2000在深宽比（7）、微加工能力（√）、耐热性（√）、化学抗性（√）等指标上全面优于环氧基/丙烯酸基材料，且溶剂环保性突出 [8] 行业应用与厂商动态 - 东丽是全球正性光敏聚酰亚胺市场化最成功的企业之一，STF-2000结合了正/负性配方双重优势 [7] - 精诚时代集团提供精密涂布模头解决方案，涵盖氢燃料电池、光学膜、锂电池等领域，加工精度达Ra≤0.02μm，直线度≤2μm/m [12] 研究机构背景 - 势银（TrendBank）是中国领先产业研究机构，提供数据、咨询及会议服务，聚焦产业链决策支持 [15][16]