国产电子束光刻机技术突破 - 全国首台国产商业电子束光刻机"羲之"进入应用测试阶段，精度比肩国际主流设备 [1] - 设备由浙大余杭量子研究院自主研发，专攻量子芯片和新型半导体研发的核心环节 [1] - 设备通过高能电子束在硅基上"手写"电路，精度达到0.6nm，线宽8nm [1] 设备技术特点 - 设备无需掩膜版，可灵活修改设计，适合芯片研发初期的反复调试 [1] - 设备被比喻为"纳米神笔"，能在头发丝上雕刻出整座城市地图 [1] - 设备采用100kV电子束技术，命名为"羲之"，寓意用电子束在芯片上"刻写"电路 [1] 行业影响 - 该设备标志着量子芯片研发有了"中国刻刀"，提升了国内在高端光刻机领域的自主创新能力 [1] - 设备已正式投入市场，有望推动量子芯片和新型半导体研发的进程 [1]