国内半导体设备龙头起诉美国公司,称其非法获取核心技术秘密
诉讼事件 - 国内半导体设备龙头屹唐股份向北京知识产权法院提起诉讼,指控应用材料公司非法获取并使用其等离子体源及晶圆表面处理核心技术秘密,诉讼金额为人民币9999万元 [2] - 应用材料公司招聘了曾在屹唐股份全资子公司MTI公司工作的两名涉案员工,该两名员工了解公司核心技术并签署了保密协议 [5] - 应用材料公司提交的发明专利申请中主要发明人为前述两名员工,专利申请披露了屹唐股份与MTI公司共同所有的技术秘密 [6] 技术优势 - 屹唐股份拥有高浓度、稳定均匀等离子体进行晶圆表面处理的关键技术,该技术广泛应用于干法去胶、干法蚀刻、表面处理及改性等半导体加工设备 [5] - 公司是国内为数不多具备多种集成电路设备研发生产能力的平台型集成电路设备公司 [6] - 公司是国内唯一一家同时具备等离子体和晶圆热处理国际领先技术的集成电路专用设备公司 [6] 公司概况 - 屹唐股份主营业务为集成电路制造过程中所需晶圆加工设备的研发、生产和销售 [6] - 公司面向全球集成电路制造厂商提供包括干法去胶设备、快速热处理设备、干法刻蚀设备在内的集成电路制造设备及配套工艺解决方案 [6] - 公司于2023年7月8日登陆上海证券交易所科创板,截至发稿市值约为676.23亿元 [6]