行业动态与市场表现 - 半导体制造核心环节光刻机赛道走热，国产产业链相关标的在二级市场热度空前，A股光刻机产业链标的波动吸引市场目光[1] - 上海微电子在第二十五届中国国际工业博览会上首次公开亮相极紫外投影微场曝光装置并披露部分技术内容[1] - 光刻机概念涨势如虹，Wind光刻机指数近一年涨幅近130%，并在9月24日创下阶段新高[2] - 光刻机概念龙头张江高科涨停且股价创历史新高，江丰电子涨超17%，联合化学、先锋精科、洪田股份、富创精密等涨超5%[2] 国产光刻机产业现状 - 上海微电子是中国第一家也是唯一一家光刻机厂商，出货量占国内市场份额超过80%，产品主要涉及ArF、KrF和i-line领域，已具备90nm及以下芯片制造能力[10] - 光刻机国产化率仅2.5%，上海微电子为国产光刻机绝对龙头[10] - 上海微电子已量产光刻机包括SSX600、SSX500、SSB300、SSB200等系列，其中SSX600系列采用四倍缩小倍率投影物镜等关键技术[10] - 中国大陆光刻机市场空间广阔但主要依赖荷兰、日本等地进口，出口管制阴影下供给不确定性上升，走向自主可控已无可回避[7] 全球光刻机市场格局 - 光刻机是芯片制造中最复杂设备，核心包括光源系统、照明系统/投影光学系统及双工件台，每个系统由数万至十万多个零件构成[9] - 全球光刻机主要分为五代，销售结构以中低端KrF、i-line为主，EUV是全球重要发展方向之一[9] - 阿斯麦独占鳌头成为唯一一线供应商，占据全球八成以上市场，垄断最高端EUV市场[9] - 阿斯麦2025年二季度净销售额为77亿欧元同比增长23%，净利润23亿欧元同比增长45%，当季光刻机系统销售收入56亿欧元，其中EUV销售额27亿欧元售出11台，非EUV销售额29亿欧元售出DUV 64台[9] - 日本光刻机厂商尼康和佳能市场份额仅在个位数徘徊，出货以成熟制程设备为主[10] 产业链关键环节与公司布局 - 张江高科通过子公司投资上海微电子22345万元，持有上海微电子10.779%股权[6] - 江丰电子为光刻工艺前道工序沉积提供关键材料并为后道工序刻蚀等设备提供精密零部件，其研发用于28nm以下节点光刻机核心冷却部件的项目已进入量产阶段[6][7] - 光刻机产业链卡脖子环节中，技术积累较深或已进入阿斯麦/上海微电子供应链的厂商包括芯碁微装、富创精密、炬光科技、赛微电子、波长光电等[13] - 我国在光刻机各细分技术领域均有储备，如科益虹源研发248nm准分子激光器，国望光学研发90nm节点ArF光刻机曝光光学系统等[14] - 多家A股上市公司披露在光刻机或半导体领域关联布局，如国林科技电子级超纯臭氧气体发生器取得小批量订单，南京化纤为光刻机等场合提供配套，捷众科技客户为光刻机提供超洁净流体处理设备[14][15][16] 发展挑战与路径 - 由于地缘政治因素，中国大陆芯片产线无法买到阿斯麦生产的EUV，制程上落后于台积电，市场对国产光刻机产业链实现突破期望急剧升温[12] - 中国光刻机制造商在面对技术挑战和供应链问题时，产能和产量仍然受限[12] - 单点技术突破和单个公司研发仍难以让国产光刻机打开局面，需借鉴阿斯麦与上下游产业链龙头紧密合作的发展模式[16] - 光刻机作为高壁垒、重资本、高风险行业，其发展有赖国家牵头、科研院所与关键公司参与，方可实现供应链自主可控[16]