总投资超50亿元,全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线投产
半导体芯闻·2025-10-16 18:43
项目投产与规模 - 全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线正式投产,同时也是全国首条工艺设备配套齐全的压电MEMS量产线 [1] - 项目总建设投资达50.6亿元,占地约79亩,总建筑面积约6万平方米 [1] - 项目全部建成投产后将具备月产3万片晶圆的能力,成为国内产出最大的MEMS全自动晶圆生产线 [1] 公司定位与发展目标 - 项目由安徽华鑫微纳集成电路有限公司投资建设,定位为国内领先的8英寸MEMS晶圆代工企业 [1] - 公司致力于打造国内领先的"开放式、定制化MEMS代工平台基地" [1]