Workflow
东方晶源:三大创新点工具破解先进制程良率瓶颈
半导体行业观察·2025-10-27 08:51

当前,随着芯片工艺向先进节点快速演进,制程节点不断逼近物理极限,技术难度呈几何级 增长,叠加AI芯片高算力需求、Chiplet多芯片集成等技术趋势,芯片版图复杂度进一步指数 级提升,设计与制造环节的协同难度显著加大。 在此背景下,图形化(Patterning)相关的系统性良率损失已成为制约晶圆厂研发效率提 升、量产成本降低的核心瓶颈。 对于晶圆厂而言,先进制程的竞争焦点本质是良率的竞争,而良率突破的关键恰恰在于Patterning 环节的风险管控。尤其对国内行业来说,由于受限于只能依赖DUV光刻机开发先进工艺节点, Patterning相关的良率问题更显突出与紧迫,良率提升不再是"工艺优化项",而是直接关系企业生 存的"商业生死线"。 对此,DMC通过AI驱动的D2C(Design To Contour)引擎实现关键突破:绕开传统OPC的复杂耗 时流程,基于输入的设计版图根据产线制程信息直接快速、准确的预测光刻轮廓,将反馈效率提升 100倍以上。此外,DMC还通过"Pattern Grouping"技术,可针对代表性图形检测,大幅提升全芯 片检查效率,有效解决"设计端无法提前感知制造风险"的痛点。 综合来看, ...