甬江实验室微纳平台验证线正式通线 | 2025异质异构集成前沿论坛
势银芯链·2025-11-24 17:10

微纳平台通线仪式与论坛概况 - 2025年11月18日,甬江实验室信息材料与微纳器件制备平台(微纳平台)8英寸验证线正式通线,并同期举办2025异质异构集成前沿论坛 [1] - 通线仪式与论坛由地方政府领导、实验室主任及行业专家学者共同见证,吸引了国内外龙头企业和科研机构参与交流 [1] 微纳平台硬件与团队配置 - 平台建筑面积12000平方米,其中洁净室面积6000平方米 [3] - 平台配备165台(套)高端精密设备,并拥有一支60余人的运营团队 [3] 微纳平台战略定位与服务目标 - 平台聚焦“异质异构集成”特色方向,致力于提供从“科学发现—技术验证—工程实现”的全链条研发验证服务 [5] - 平台定位为开放、共享的科创服务平台,旨在支撑前沿科技创新、引领微纳制造共性技术、赋能产研生态 [5] - 平台恪守“中立”精神,不做特定赛道竞争者,而是作为前沿赛道的铺路人,为高校院所和企业提供基础设施与工艺验证支撑 [14] - 平台以核心半导体技术为根基,旨在解决创新想法在量产前无处验证的产业痛点 [16] 微纳平台的意义与影响 - 平台打破了“科学发现与工程验证”之间的壁垒,成为产学研协同攻关的“硬核支撑”,将为异质异构集成技术突破提供关键引擎 [7] - 验证线通线是从“6英寸”到“8英寸”的尺寸升级,更是从“概念验证”到“工程验证”的能力跃迁 [14] - 平台是甬江科创区打造世界一流科创策源中心的关键一环,将提升宁波在微纳制造领域的工程验证能力,为新一代半导体产业提供更高水平的公共服务与创新支撑 [9] - 平台致力于构建原创技术“策源地”、营造高端人才集聚“强磁场”、打造全链创新转化“加速器” [9] 异质异构集成的行业背景与机遇 - 随着晶体管尺寸逼近物理极限,传统“微缩”路径难以为继,异质异构集成技术是应对挑战的创新方案,也是实现半导体产业“变道超车”的重要战略机遇 [11] - 平台将助力探索Chiplet系统重构、CPO光电共封装、混合键合原子级制造、Micro-LED跨材料集成等前沿技术从中试走向量产的可行路径 [20] 平台构建的创新生态 - 平台旨在构建一个开放共享的基础设施、一个中立可信的赋能平台、一个链接产学研用的创新枢纽,为产业提供关键的“临门一脚” [20] - 平台将与学界、产业界一道积累关键验证数据,共同推动创新成果转化落地,贯通创新链与产业链 [14][20]