文章核心观点 - 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司是中国真空技术领域的重要企业，深耕数十年，多次打破国外技术垄断，为重大科学研究提供支撑，即将在北交所上会 [1] - 公司是国内集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵企业，是唯一能在14nm先进制程批量应用、覆盖全工艺的国产厂商，在国产替代浪潮中具备稀缺性与成长确定性 [8][27] 公司历史与行业地位 - 公司历史可追溯至20世纪50年代中科院下属的真空科研事业单位，1979年成功研制中国第一台分子束外延设备，打破了国外禁运 [5] - 公司先后参与北京正负电子对撞机、兰州重离子加速器等11项国家重大科技基础设施建设，并为上海同步辐射光源提供了70%以上的前端区设备 [5] - 2001年，公司成功研发出用于科研领域的涡旋干式真空泵，开启了干式真空泵国产化序幕 [5] - 2017年，公司承担的国家重大专项成果——干式真空泵产品在中芯国际多条产线批量应用，成为首个批量应用于集成电路制造工艺的国产真空获得设备制造企业，打破了国外垄断 [5] - 国家集成电路产业基金是公司重要股东，持股比例达19.73% [8] 产品与技术实力 - 公司形成了以干式真空泵和真空科学仪器设备为核心的产品体系 [9] - 干式真空泵是公司主要收入来源，2024年收入占比达72.44% [9] - 干式真空泵分为L、M、H三大系列，分别针对清洁、中等、苛刻工艺，抽速范围从110 m³/h到2800 m³/h，已推出近四十款不同型号 [9] - 公司产品能够适配AMAT、LAM Research、北方华创、中微、拓荆等30余家国内外主流设备厂商的数百种机台 [9] - 真空科学仪器设备主要服务于国家重大科技基础设施和前沿科学研究，2024年收入占比为16.22% [12] - MBE设备已迭代至第六代，累计交付60余台，打破了《瓦森纳协定》对我国的禁运限制 [12] - 公司为上海同步辐射光源提供了32条前端区中的23条、34条光束线中的18条 [12] - 公司拥有三个国家级研发平台，近三年研发投入持续增长，2022-2024年分别为6,008.05万元、8,465.08万元和11,008.08万元 [12] - 截至2025年6月30日，公司已拥有发明专利100项，并作为主要起草方参与制定了13项真空技术相关的国家、行业及团体标准 [12] - 公司曾获国家科学技术进步奖共6项，中国科学院及省部级科学技术进步奖20余项 [12] 市场表现与财务业绩 - 2022至2024年，公司营业收入从6.98亿元增长至10.82亿元，复合增长率达24.51% [14] - 同期公司扣非归母净利润从6,186.11万元增至8,787.75万元，复合增长率为19.19% [16] - 2025年前三季度，公司营收同比增长21.93%，扣非归母净利润同比增长8.04% [18] - 公司已成为国内集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵企业，累计出货量超4万台，其中集成电路领域超3万台，2024年国内市占率达12.72% [8] - 在集成电路领域，产品已进入国内各大主流晶圆厂，并成功通过台积电、大连Intel、SK海力士的测试验证，实现小批量出货 [18] - 在光伏领域，2023年公司对隆基绿能的销售收入达1.59亿元，占当年营业收入的18.67% [18] - 在科研领域，中国科学院高能物理研究所、中国科学技术大学等顶尖科研机构长期选用其真空科学仪器设备 [18] 行业背景与市场需求 - 真空技术是集成电路、光伏、重大科技基础设施等领域不可替代的核心 [1] - 在集成电路制造中，一片12英寸晶圆需经历上千道工艺，其中15个核心环节有11个依赖真空环境 [2] - 在光伏产业，真空环境能有效提升硅材料纯度，直接决定太阳能电池的转换效率 [4] - 中国高端真空泵市场曾长期被英国Edwards、日本Ebara等海外巨头垄断 [4] - 根据SEMI统计数据，全球晶圆厂设备销售额2024年达到创纪录的1,042.7亿美元，预计2025年将增长至1,107.7亿美元，2026年预计跃升至1,221.0亿美元，较2025年增长10.23% [19] - 中国光伏年新增装机容量从2020年的48.2GW飙升至2024年的277.57GW，年均复合增长率达54.91% [21] - 中国光伏行业协会预计，到2030年，我国光伏新增装机容量将达到280-300GW [21] - 根据SEMI预计数据及测算，2024年全球集成电路领域干式真空泵市场规模约125.74亿元，中国大陆市场规模约52.11亿元 [24] - 据CPIA报告及iVacuum真空聚焦测算，2024年我国光伏领域干式真空泵市场规模约47.0-57.2亿元 [24] 发展战略与募投项目 - 公司本次IPO拟募集资金8.25亿元 [24] - 募投项目包括：干式真空泵产业化建设项目、高端半导体设备扩产及研发中心建设项目、新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目 [25] - 干式真空泵产业化建设项目达产后，公司各类干式真空泵年产能将提升至2.65万台 [25] - 高端半导体设备扩产及研发中心建设项目聚焦于H系列干式真空泵，应用于集成电路及泛半导体领域 [26] - 新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目旨在研发超高速节能泵、超高温泵等新一代产品，并开发大抽速干式螺杆真空泵，以丰富产品线并拓展应用场景 [26]