转自：中核集团 声明：本文仅为信息交流之用，不构成任何投资建议，股市有风险，投资需谨慎。 加入"中国IC独角兽联盟"，请点击进入 是说芯语转载，欢迎关注分享 最新科技消息 GL 837 我国首台串列型高能氢离子 品三节节生气 六十六 近日，由 中核集团 中国原子能科学研究院自主研制的 我国首台串列型高能氢离子注入机（ POWER-750H）成功出束，核心指标达到国际先进水平。 这标志着我国已全面掌握串列型 高能氢离子注入机的全链路 研发 技术，攻克了功率半导体制造链关键环节，为推动高端制造 装备自主可控、保障产业链安全奠定坚实基础。 离子注入机与光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备并称为芯片制造 "四大核心装备"，是半导体制 造不可或缺的"刚需"设备。此次高能氢离子注入机的成功研制，是核技术与半导体产业深度 融合的重要成果，将有力提升我国在功率半导体等关键领域的自主保障能力，更为助力"双 碳"目标实现、 加快形成新质生产力提供强有力技术支撑。 长期以来，我国高能氢离子注入机完全依赖国外进口，其研发难度大、技术壁垒高，是制约 我国战略性产业升级的瓶颈之一。原子能院依托在核物理加速器领域数十年的深厚积累，以 串列加速器技 ...