文章核心观点 - 半导体设备板块是近期A股市场表现最亮眼的领域，年初至今相关主题指数涨幅领先，资金正通过ETF积极布局该赛道 [4][5][17] - 半导体设备行业的投资逻辑本质上是“双重周期共振”与“国产替代大趋势”两大核心驱动力的结合，行业被称为产业链关键的“卖铲人”，能分享整个行业增长的红利 [8][16] - 在宏观经济寻找新增长点的背景下，资金倾向于追逐有明确产业政策支持、有技术壁垒且未来增长空间巨大的方向，半导体设备行业完全符合这些特征 [6][7] 行业驱动因素与现状 - 产业周期共振：行业正处于传统周期回升与AI新需求爆发的共振起点，消费电子、汽车等领域芯片库存趋于健康，传统需求温和复苏，同时生成式AI驱动的算力竞赛重塑芯片技术架构与制造工艺，催生新需求 [12] - 具体技术驱动：例如，HBM所需的TSV工艺大幅增加了对先进刻蚀、薄膜沉积设备的需求，芯片制造迈向更精密制程持续推动光刻、量测等核心设备的升级与投资 [13] - 国产替代空间广阔：半导体设备国产化已从“备选项”升级为“必选项”，2024年中国晶圆制造设备综合本土化率仍处于约25%的较低水平，尤其在光刻、量测等关键环节国产化率极低（光刻机低于1%），巨大差距意味着广阔的替代空间 [14] - 本土化率数据：根据MIR数据，不同设备类型的本土化率存在差异，例如刻蚀机2024年本土化率为29%，清洗设备为35%，CMP设备为35%，而光刻机仍低于1%，预计到2026年综合本土化率将提升至30% [15] - 全球市场增长：国际半导体产业协会预测，2025年全球半导体设备销售额将达到1330亿美元的历史新高，同比增长13.7%，并预计增长趋势将在未来两年延续，2026年和2027年分别达到1450亿和1560亿美元 [15][16] - 下游需求确定：国内头部晶圆厂逆势扩张的步伐并未停歇，晶圆厂稼动率的回升和新厂房的建设直接决定了上游设备材料的需求，这意味着对上游设备的需求是确定性的 [9][10] 市场表现与ETF概况 - 指数表现突出：年初至今表现最好的三只指数均为半导体设备主题，其中半导体材料设备指数（931743）上涨27.71%，科创板半导体材料设备指数（950125）上涨26.35%，中证半导指数（931865）上涨23.21% [5][6] - ETF资金流入显著：已有不少资金通过ETF渠道布局半导体设备赛道，多只ETF年初以来份额增长显著，例如半导体设备ETF华夏（562590.SH）份额变化率达179.51%，半导体设备ETF易方达（159558.SZ）份额变化率达92.50% [17][18] - ETF业绩表现：目前市场上的半导体设备ETF，今年来回报均在20%以上，但由于跟踪指数不同，业绩表现上略有差异 [19] 主要半导体设备ETF指数对比 - 半导体材料设备指数（931743.CSI） - 从沪深两市选出40只半导体材料与设备龙头企业作为成分股，“半导体设备+材料”行业权重占比达86.5% [21] - 前十大成分股包括北方华创（权重14.21%）、中微公司（权重14.15%）、拓荆科技（权重7.03%）等，优势在于囊括了科创板新锐和主板经营稳健、规模较大的龙头 [25][28] - 跟踪该指数的主要ETF包括：半导体设备ETF（159516.SZ，规模174.1亿元，今年回报27.3%）、半导体设备ETF易方达（159558.SZ，规模39.4亿元，回报27.5%）、半导体设备ETF广发（560780.SH，规模33.4亿元，回报27.6%）等 [20][31] - 科创半导体材料设备指数（950125.SH） - 完全聚焦于科创板，“半导体设备+材料”行业权重占比达84.8%，由于科创板实行20%的涨跌幅限制，该ETF的弹性和波动性会相对更高 [23] - 前十大成分股多为科创龙头股，如拓荆科技（权重10.12%）、华海清科（权重9.69%）、沪硅产业（权重9.47%）等，在行情爆发期弹性往往最大 [25][28] - 跟踪该指数的主要ETF包括：科创半导体ETF（588170.SH，规模62.6亿元，今年回报26.3%）、科创半导体设备ETF（588710.SH，规模16.4亿元，回报26.2%）等 [20][32] - 中证半导体产业指数（931865.CSI） - 选取不超过40只业务涉及半导体材料、设备和应用等领域的企业作为样本，覆盖范围更广，不仅包括设备材料，也布局芯片设计、制造等环节，半导体设备+材料占比67.5%，芯片设计占比16.2% [24] - 前十大成分股中不仅有设备股，还有芯片设计龙头，如寒武纪-U（权重9.34%）、海光信息（权重6.82%）等 [28] - 跟踪该指数的主要ETF包括：半导体设备ETF（561980.SH，规模35.0亿元，今年回报23.0%）、半导体产业ETF（159582.SZ，规模3.3亿元，回报23.0%）等 [20][34] 投资工具选择建议 - 均衡配置选择：若看好上游设备材料环节，但希望配置稍均衡一些，不过度集中于单一板块，跟踪半导体材料设备指数的ETF提供了相对均衡的解决方案 [30][31] - 激进投资选择：若是激进型投资者，追求更高的纯粹性和弹性，希望集中投资于科创板的半导体设备与材料“硬科技”企业，并能承受相应波动，聚焦科创板设备材料的ETF可能更合适 [31][32] - 全产业链布局选择：若不只看好设备材料，还想涵盖芯片设计、晶圆制造等环节，那么跟踪中证半导指数的ETF可能是更好选择，既能分享设备端红利，也能分享设计和制造端复苏的收益 [33][34]