2D 晶体管,性能 “虚高”?
半导体行业观察·2026-03-01 11:13

二维半导体晶体管研究的核心发现 - 近二十年来,二维半导体作为硅的补充或替代材料被研究,旨在实现更小、更快、更节能的处理器 [2] - 杜克大学的研究表明,该领域大量研究采用的“背栅”器件结构会引发“接触栅控”效应,从而无形中夸大晶体管的纸面性能,且无法转化为商用技术 [2] - 大多数报道的高性能二维晶体管所采用的器件设计与商用技术不兼容,这种设计会改变晶体管工作方式,显著夸大其性能 [2] 硅基半导体的局限与二维材料的兴起 - 硅一直是制造晶体管的首选半导体,但现代技术正在逼近该材料的本征极限,晶体管内部部分结构已薄至物理极限 [3] - 为突破限制,研究人员正在探索即使只有一两个原子厚度仍能正常工作的新型材料,即二维材料 [3] 背栅测试结构的工作原理与缺陷 - 为简化制备与测试,研究人员通常采用“背栅”结构:将晶体管所有元件制作在同一硅片上,硅基底作为栅极控制电流开关 [5] - 在背栅结构中,栅极不仅调控二维半导体沟道,还会影响金属接触下方的半导体区域,产生“接触栅控”效应,通过降低接触电阻来放大晶体管性能 [5] - 尽管性能提升看似诱人,但背栅结构受限于速度不足与漏电流等副作用,无法用于实际器件 [6] 新测试方法揭示的性能夸大程度 - 研究团队制备了对称双栅晶体管结构,可在同一条沟道上实现背栅与顶栅的对比,直接测量接触栅控的影响 [6] - 实验结果显示,在尺寸较大的器件中,接触栅控可使性能提升约一倍 [6] - 当器件缩小至未来技术所需的极小尺寸时,接触栅控效应进一步增强:在沟道长度50纳米、接触长度30纳米的条件下,性能提升最高可达六倍 [6] - 随着器件尺寸缩小,接触电阻会主导整体性能,任何改变接触特性的机制都变得愈发重要 [7] 研究对行业的影响与未来方向 - 由于多年来大多数二维晶体管研究结果都采用了背栅结构,因此该发现具有广泛影响,表明许多已报道的性能数据可能被高估 [7] - 研究团队计划继续缩小尺寸,将接触长度降至15纳米,并探索替代接触金属以降低接触电阻 [7] - 更宏观的目标是为将二维半导体集成到未来晶体管技术中,建立更清晰的设计规范 [7] - 若二维材料未来要取代硅沟道,必须诚实地评估器件结构对测量结果的影响 [7]

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